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泛半導(dǎo)體鋁合金腔體法蘭解決方案(二):鋁合金與不銹鋼復(fù)合合金法蘭

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本文介紹的另一種解決方案是采用鋁合金與不銹鋼的復(fù)合合金板制造法蘭。其中鋁合金部分用于與腔體連接,不銹鋼部分用于制造刀口,實現(xiàn)與現(xiàn)有CF法蘭的對接。

該方案通過特殊的焊接工藝,將不銹鋼與鋁合金復(fù)合成合金板,進(jìn)而加工成特殊的法蘭結(jié)構(gòu)。為了解決鋁合金與不銹鋼之間的冶金不相容問題,在復(fù)合金屬板中添加了多種金屬作為緩沖層,示意圖如下。

泛半導(dǎo)體鋁合金腔體法蘭解決方案

為了實現(xiàn)鋁合金真空產(chǎn)品的應(yīng)用,需要克服以下三個難題:

1.真空側(cè)表面鈍化:鋁表面具有較厚的多孔氧化層,容易吸附水蒸氣和其他污染物,通常不適用于真空環(huán)境。通過特殊的制造工藝,可在鋁表面形成薄而致密的氧化物層,有效減小表面積及污染物的吸附。

泛半導(dǎo)體鋁合金腔體法蘭解決方案

2.真空焊接:傳統(tǒng)焊接過程中,鋁表面會生成氧化物,無法通過真空氦氣檢漏測試。而采用先進(jìn)的真空焊接技術(shù),可控制鋁表面的受熱影響區(qū)域,進(jìn)而減少內(nèi)外部的氧化物生成,降低表面污染。

泛半導(dǎo)體鋁合金腔體法蘭解決方案

爆炸焊示意圖

來源:https://doi.org/10.1016/j.msea.2018.06.051

3.真空密封:由于鋁合金無法有效壓縮銅墊片,因此難以單獨實現(xiàn)可靠的密封。采用鋁制主體與不銹鋼刀口結(jié)合的法蘭,即可滿足超高真空的密封要求。


以上是北京麥迪森科技有限公司為您介紹的真空法蘭,如果您對上述鋁合金與不銹鋼復(fù)合法蘭感興趣,歡迎隨時與我們聯(lián)系15301310116(微信同號)。

泛半導(dǎo)體鋁合金腔體法蘭解決方案


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