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泛半導體鋁合金腔體法蘭解決方案(一):鈦法蘭與鋁合金頸部組合方案

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本文介紹采用鈦合金制造CF法蘭、鋁合金制造法蘭頸部的方案。鈦合金法蘭滿足硬度要求的同時,鋁合金頸部便于與鋁合金腔體進行焊接。由于鈦和鋁的磁性較弱,使用這兩種材料制成的組件是實現(xiàn)無磁性腔體的選擇。

鈦合金法蘭

麥迪森科技提供的鈦與鋁組合可旋轉法蘭,具有通孔和螺紋孔兩種形式,可通過螺絲固定,提供足夠的靈活性。此外,旋轉法蘭的外部零件可選其他形狀,以便在需要時使用鏈型夾具,從而縮短操作時間,這通常在輻射環(huán)境中尤為重要。

在高真空或超高真空環(huán)境中,使用鈦和鋁合金制成的組件具有以下優(yōu)勢:

1.低漏氣率:鈦和鋁的漏氣速率均較低,這對于高真空和超高真空(UHV)系統(tǒng)至關重要。使用這些材料制成的組件可減少污染,維持更清潔的真空環(huán)境。

2.高強度與耐用性:鈦金屬具有優(yōu)異的強度重量比和耐腐蝕性,能夠承受高真空環(huán)境中的應力和機械負載,是制造真空組件的理想選擇。

真空組件

3.兼容UHV環(huán)境:鈦金屬具有較低的蒸氣壓,并且與腔體內(nèi)殘余氣體的反應性較小,因而能夠兼容UHV環(huán)境,這對于維持UHV系統(tǒng)的完整性尤為關鍵。

4.使用壽命長:與易放氣或腐蝕的材料相比,鈦制組件在高真空和UHV系統(tǒng)中的使用壽命更長。同時,鋁合金相比不銹鋼價格較低,長期使用下,鈦和鋁制組件的成本效益更高。

5.生物相容性:鈦的生物相容性在某些科學和醫(yī)學應用中非常有價值,可以用于在UHV環(huán)境中與生物材料相關的表面科學研究中。

鈦材料的先進表面工程

鈦材料的先進表面工程

來源:https://doi.org/10.1016/j.bioactmat.2023.03.006

6.功能多樣性:鈦的功能多樣性使其在真空腔體、實驗裝置以及各種UHV研究設備領域中具有廣泛的應用。

鈦制真空腔體

鈦制真空腔體

此外,由鈦和鋁合金制造的法蘭系統(tǒng)可以直接裝配在鋁制腔體上,并可與市場上現(xiàn)有的所有CF密封圈兼容。

以上是北京麥迪森科技有限公司為您介紹的真空法蘭,如果您對上述鈦法蘭與鋁合金頸部組合方案感興趣,歡迎隨時與北京麥迪森科技聯(lián)系15301310116(微信同號)。

鈦法蘭與鋁合金頸部組合方案


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