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超高真空閘閥是一種用于超高真空環(huán)境下的閥門，通常用于半導(dǎo)體、光電、化工等領(lǐng)域中的高工藝設(shè)備中。

真空閘閥的連接方式有多種，具體連接方式取決于真空系統(tǒng)的需求、管道設(shè)計(jì)以及真空閘閥的類型。下面是幾種常見的連接方式：

真空閘閥是一種通過控制真空氣壓來調(diào)節(jié)物質(zhì)流動(dòng)的設(shè)備，已廣泛應(yīng)用于多種行業(yè)中。

真空閘閥的漏率是什么？簡單而言是指物質(zhì)從閥內(nèi)部流出到閥外的程度。

問：超高真空閘閥可連接法蘭類型是什么？答：超高真空閘閥可連接法蘭類型為CF，可分為手動(dòng)與氣動(dòng)兩種驅(qū)動(dòng)方式。

問：超高真空閘閥對(duì)烘烤溫度有要求嗎？答：之前我們介紹過高真空、三位真空等不同類型的閘閥對(duì)烘烤溫度的要求，都應(yīng)≤ 150 °C，而超高真空閘閥更加耐烘烤，溫度要求為≤ 200 °C。

真空閘閥?通常做為啟閉裝置使用，以潔凈空氣或無腐蝕性氣體為介質(zhì)，常應(yīng)用于大中型高真空與超高真空裝置的真空系統(tǒng)。

問：高真空閘閥可允許漏率是多少？答：不同型號(hào)、應(yīng)用環(huán)境對(duì)真空閘閥的漏率要求會(huì)有所差別，高真空閘閥的可允許漏率應(yīng)< 1×10-10 mbar ?/sec。

問：高真空閘閥對(duì)閘門上的壓差有要求嗎？答：高真空閘閥，閘門上的壓差與開口尺寸有關(guān)，開口尺寸在1.5? ~ 6?英寸之間，壓差應(yīng)≤ 1400 mbar ，開口尺寸在8? ~14?英寸之間，壓差應(yīng)≤1200 mbar。

閘閥在真空系統(tǒng)中的應(yīng)用，首先要保證氣密性達(dá)到要求。通常真空閘閥漏氣越少，氣密性越好。