問(wèn)：真空閘閥控制系統(tǒng)對(duì)閘門(mén)上的壓差有要求嗎？

答：真空閘閥控制系統(tǒng)，其閘門(mén)上的壓差與開(kāi)口尺寸有關(guān)，開(kāi)口尺寸在2.5? ~ 6?英寸之間，壓差應(yīng)≤ 1400 mbar ，開(kāi)口尺寸在8? ~16?英寸之間，壓差應(yīng)≤1200 mbar。

真空閘閥控制系統(tǒng)

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