定制超高真空饋通-MT190-8*13CU5K-BNC-C40，在CF35/CF40法蘭上焊接8個(gè)功率饋通及1個(gè)BNC同軸饋通。功率饋通為銅材質(zhì)，導(dǎo)體直徑為1.3mm，電壓為5KV DC，電流為20A。BNC饋通為單端饋通，電壓為500V DC，電流為3A。

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