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高真空干泵是一種用于創(chuàng)建和維持高真空環(huán)境的真空泵。與傳統(tǒng)的潤滑劑或油封真空泵不同，高真空干泵使用干式（無潤滑劑）或半干式（少量潤滑劑）的工作原理，因此被稱為"干式真空泵"或"無油真空泵"。

高真空干泵的工作原理基于排氣腔和旋轉(zhuǎn)機構的組合。主要包括以下幾個關鍵組件：

排氣腔：排氣腔是干式真空泵的主要工作區(qū)域。它通常由一對旋轉(zhuǎn)的葉片（Rotor）和靜止的外殼（Stator）組成，形成多個腔室。

旋轉(zhuǎn)機構：旋轉(zhuǎn)機構驅(qū)動葉片進行旋轉(zhuǎn)，通常通過電機或驅(qū)動裝置提供動力。

氣體進出口：氣體通過進口進入排氣腔，并通過排氣口被排出。

高真空干泵的工作過程如下：

開始時，排氣腔中的腔室與進氣口相連，形成低真空狀態(tài)。

旋轉(zhuǎn)機構驅(qū)動葉片開始旋轉(zhuǎn)，產(chǎn)生離心力。離心力將氣體從進氣口向腔室外部推送，從而增加了排氣腔的壓力。

當排氣腔的壓力達到一定水平時，氣體會被推到排氣口并排出系統(tǒng)，從而減小了排氣腔內(nèi)的壓力。

旋轉(zhuǎn)的葉片不斷與腔室相遇，將氣體進行排出，從而提高排氣腔的真空度。

高真空干泵的工作原理使其能夠?qū)崿F(xiàn)無油、無潤滑劑的真空抽取過程。這些泵通常具有較高的抽取速度和較低的污染風險，適用于對干凈的高真空環(huán)境要求較高的應用。同時，由于無需使用潤滑劑，高真空干泵也更易于維護和操作。不過，由于無油設計，某些高真空干泵在某些應用中可能會受到氣體或水蒸氣的限制，因此在選擇和使用時需要考慮特定的應用需求和工作條件。

愛德華EPX高真空干泵

以上就是北京麥迪森科技有限公司提供的高真空干泵的工作原理。