Edwards愛(ài)德華XDS干式渦旋真空泵

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Edwards愛(ài)德華XDS干式渦旋真空泵，隨著干式清潔真空的應(yīng)用需求不斷擴(kuò)大，Edwards XDS渦旋泵已成為渦旋干式泵行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)，證明是一項(xiàng)適用于各種應(yīng)用和流程的耐用且清潔的真空泵解決方案。

Edwards愛(ài)德華XDS35i 泵具有創(chuàng)新的軸承罩，可將真空環(huán)境與所有形式的潤(rùn)滑劑隔離開(kāi)來(lái)，創(chuàng)造了一個(gè)完全靜態(tài)密封和完全無(wú)油清潔的真空環(huán)境。針對(duì)稀有氣體再循環(huán)和氣體回收等應(yīng)用，Edwards愛(ài)德華XDS35iNGB 選配型移除了氣鎮(zhèn)。

C 型是改進(jìn)型，更適用于水蒸氣以及某些具有腐蝕性物質(zhì)的應(yīng)用。這個(gè)耐化學(xué)腐蝕的版本是基于Chemraz內(nèi)閥以及不銹鋼材料的出氣口。

Edwards愛(ài)德華XDS46i 與 XDS35i 有許多共同特性，但前者的峰值抽速達(dá)到 40m³h^-1。該泵針對(duì)抽速 (入口壓力介于 1 mbar 至10 mbar 之間) 進(jìn)行了優(yōu)化，使其適用于渦輪分子泵的前級(jí)泵。

XDS35i增強(qiáng)版（XDS35iE）具有雙入口和旁通閥技術(shù)，使其能夠處理標(biāo)準(zhǔn)XDS35i泵工作范圍以外的應(yīng)用，例如防止在較高操作壓力和較大吞吐量時(shí)氣體在渦旋裝置中的過(guò)度壓縮。XDS35iE能夠在不受真空室大小或循環(huán)抽氣頻率限制的情況下工作。這給我們的客戶提供了更多從XDS渦旋干泵技術(shù)中受益的機(jī)會(huì)。

Edwards愛(ài)德華XDS干式渦旋泵

產(chǎn)品應(yīng)用：

分析儀器，電子掃描顯微鏡-SEM，射束線和高能物理，渦輪分子前級(jí)泵，覆層，低溫學(xué)，脫氣/硫化-油，環(huán)氧樹(shù)脂，蒸餾/萃取/過(guò)濾，冷凍干燥，熔爐，凝膠體干燥，實(shí)驗(yàn)室工作臺(tái)上真空，激光、氣體回收和再循環(huán)，氦檢漏儀，負(fù)載鎖和傳輸腔，稀有氣體再循環(huán)，稀有氣體回收，冷凍制造，研發(fā)，旋轉(zhuǎn)離心蒸發(fā)器，SEM/FIB（離子束維修），溶劑回收，表面科學(xué)儀器

產(chǎn)品特點(diǎn)：

* 軸承罩：可確保將制程氣體與軸承潤(rùn)滑劑相分離，以確保清潔的真空環(huán)境，并避免制程氣體中的污染物進(jìn)入潤(rùn)滑劑中，從而延長(zhǎng)軸承的使用壽命。

* 變頻器驅(qū)動(dòng)：全球范圍內(nèi)泵性能完全相同、泵過(guò)載保護(hù)和遠(yuǎn)程啟動(dòng)/停止功能特性。

* 高流量氣鎮(zhèn)特性：可實(shí)現(xiàn)以高到 240 g/hr 的速度抽取蒸汽(包括水蒸汽)。

* 獨(dú)特的軸向氣隙電機(jī)：減小了整體泵尺寸，并且降低了功率和噪聲。

* 簡(jiǎn)單的單端雙渦旋設(shè)計(jì)：可實(shí)現(xiàn)在幾分鐘內(nèi)完成維護(hù)工作，從而降低運(yùn)行成本并盡可能延長(zhǎng)正常運(yùn)行時(shí)間。

* 雙入口和旁通閥技術(shù)：XDS35iE適用于大腔體的抽氣，防止氣體過(guò)度壓縮，提高泵的效率和抽速，延長(zhǎng)軸承的使用壽命。

Edwards愛(ài)德華XDS干式渦旋泵——技術(shù)數(shù)據(jù)

Edwards愛(ài)德華XDS干式渦旋泵——技術(shù)數(shù)據(jù)